日前，河北省科技廳發(fā)布了《關(guān)于2023年度河北省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)總評(píng)審結(jié)果的公告》，玉田縣唐山晶玉科技股份有限公司申報(bào)的“半導(dǎo)體材料精密加工設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目被評(píng)為河北省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)。

      據(jù)了解，我國(guó)作為半導(dǎo)體市場(chǎng)，半導(dǎo)體材料需求也將得到更大的釋放，其中硅片大尺寸和薄片化是半導(dǎo)體材料發(fā)展的一大趨勢(shì)。此次獲獎(jiǎng)項(xiàng)目創(chuàng)新研發(fā)了工件定位方法、工作臺(tái)水平位置調(diào)整以及90°旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)對(duì)被切割半導(dǎo)體料坯的定位，并通過創(chuàng)新研發(fā)四軸雙工位和導(dǎo)輪位置調(diào)節(jié)裝置，保障線網(wǎng)高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)張力的穩(wěn)定，進(jìn)而提升大尺寸和薄片化半導(dǎo)體材料表面質(zhì)量和加工效率。